Следующий этап — создание литографа для производства 130-нанометровых чипов
11 сентября 2026, 16:42ПроцессорыDexter10
Первый серийный российский литограф, который позволит производить чипы в соответствии с нормами 350 нм, планируют передать заказчику в декабре 2026 года. Согласно данным источников CNews, первым получит установку компания «Маппер», входящая через холдинг «Швабе» в состав Ростеха. Следующая серийная машина предназначена для компании «Отраслевые решения» группы «Элемент».
Отечественная машина была разработана Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ). Разрешение 350 нм востребовано при производстве силовой и автомобильной электроники, а также компонентов для промышленного оборудования. Установку ЗНТЦ создали совместно с белорусской компанией «Планар». Она получила рабочее поле 22 х 22 мм, поддерживает пластины диаметром до 200 мм и использует твердотельный лазер, заменяющий традиционную ртутную лампу. Такой источник излучения должен обеспечить более высокую мощность и эффективность.
Производительность литографа составляет 63 пластины диаметром 150 мм в час. При работе с 200-миллиметровыми пластинами установка может обрабатывать до 43 пластин в час.
Базовая версия машины оценивается в 392 млн рублей без НДС. Комплектация с расширенным сервисным обслуживанием и дополнительной пятилетней гарантией стоит 561 млн рублей — сопоставимые зарубежные установки обходятся на 40–60% дороже. Срок изготовления одного литографа составляет около 18 месяцев после внесения авансового платежа в размере половины стоимости.
Первым пользователем станет московская фабрика «Маппер», занимающаяся контрактным производством кремниевых элементов по технологии МЭМС. Предприятие располагает 1500 кв. м чистых помещений, обрабатывает до 5 тысяч пластин в год и участвует в проекте по созданию инфракрасных матриц для тепловизоров и беспилотников.
На этом проект не завершается. Следующим этапом станет серийный отечественный литограф с разрешением 130 нм, который также разрабатывается совместно с компанией «Планар». Опытный образец установки был анонсирован в августе 2026 года, стоимость опытно-конструкторских работ составляет 5,7 млрд рублей.
Начать серийные поставки литографов, позволяющих выпускать 130-нанометровые чипы, планируется в 2027 году.
Источники:CNewsПроцессоры10Россия47 минут назад
Источник
