Кратко о запуске
Китайская компания Jiangsu Haisi Semiconductor завершила настройку и приёмку новой автоматизированной литографической установки Mask Aligner, рассчитанной на работу с 8‑дюймовыми пластинами (200 мм). После финальной проверки оборудование было упаковано и готовится к отгрузке заказчику. В приоритетном порядке установка будет использоваться для формирования рисунков при производстве кремниевых Micro LED.
Назначение и принцип работы
Mask Aligner — это аппарат для контактной фотолитографии: с его помощью рисунок с фотомаски переносится на подложку, покрытую фоторезистом. Такое оборудование применяется для изготовления тонких структур на кремниевых пластинах и других подложках при производстве микроэлектроники и оптоэлектроники.
Ключевые технические особенности
- Поддерживаемый диаметр пластин: 8 дюймов (200 мм).
- Наличие двух автоматизированных SMIF‑систем для загрузки и выгрузки пластин.
- Два независимых транспортных конвейера, каждый оснащён парой роботизированных манипуляторов.
- Точность совмещения по лицевой стороне: менее ±0,5 мкм.
- Полностью автоматическая трёхточечная система выравнивания на воздушной подвеске, позволяющая надёжно работать с тонкими и деформированными пластинами.
Производитель и поставки
Jiangsu Haisi Semiconductor специализируется на производстве контактного литографического оборудования. У компании есть заводы в Сучжоу и Чэнду; ранее её установки уже поставлялись в научные лаборатории университетов и исследовательских организаций.
Что остаётся неизвестным
В сообщении не указаны данные о конечном заказчике, объёмах поставок и сроках ввода установки в серийную эксплуатацию. Сообщается лишь, что после приёмки оборудование упаковано для отправки клиенту.
14 октября 2026, 09:49 · ASML · Jin · Источники: mydrivers
Источник: ixbt.com
