Учёные создали полировальную суспензию на основе очищенного диоксида кремния
Исследователи Нижегородского государственного университета имени Лобачевского запатентовали технологию глубокой очистки нанопорошка диоксида кремния, предназначенную для изготовления полировальных суспензий, применяемых при производстве микросхем. Разработка даёт возможность задавать размер, форму и однородность частиц, а также существенно снижать содержание посторонних примесей. Технологическая линия и регламент выпуска материала уже сформированы, а образцы суспензии переданы промышленному партнёру для испытаний.
Патент и назначение материала
В октябре 2026 года учёным научно-исследовательской лаборатории инженерной химии НИИ химии Университета Лобачевского выдан патент на метод очистки аморфного диоксида кремния. Технология нацелена на производство высокочистых абразивных наноматериалов, используемых при химико-механической полировке (CMP) полупроводниковых пластин — от свойств наночастиц напрямую зависят качество поверхности и эксплуатационные характеристики готовых электронных компонентов.
Ход проекта и планы по масштабированию
Работа над проектом началась в 2024 году в рамках стратегической инициативы «Новые материалы для микроэлектроники» федеральной программы «Приоритет-2030». На начальном этапе учёные подобрали составы и отладили условия синтеза; сейчас команда концентрируется на проверке стабильности технологии при переходе к крупносерийному производству и на совместных испытаниях с промышленным партнёром.
Комментарий руководителя исследования
По словам руководителя проекта, кандидата химических наук Ксении Отвагиной, предложенный подход даёт возможность целенаправленно управлять характеристиками наночастиц и получать материал с требуемыми параметрами. Это особенно важно для полировальных суспензий, от которых требуется стабильная и высокоточная обработка полупроводниковых пластин.
Значение для отрасли
Разработка направлена на снижение зависимости российской микроэлектроники от импорта высокочистых материалов. В условиях ограничений на поставки отрасли необходимы отечественные аналоги, сопоставимые с зарубежными решениями по качеству и стабильности. Следующий этап — промышленная апробация суспензии и подтверждение возможности масштабного производства.
16 октября 2026, 20:46 — Dexter | Россия | Наука
Источники: CNews, ТАСС
Не пропускайте наши новостиДобавьте сайт в предпочитаемые источники, чтобы видеть нас чащеДобавить в Google
