На разработку выделено более 2,37 млрд рублей
Процессоры255 минут назад
Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) займется созданием первого в России промышленного сканирующего электронного микроскопа класса CD-SEM, который будет использоваться для контроля производства микросхем. Как сообщает CNews, Минпромторг уже подписал контракт с центром на сумму 2,37 млрд рублей. Работы будут осуществляться в рамках опытно-конструкторской разработки «Инспектор» и должны быть завершены до 30 июня 2030 года.
Будущий CD-SEM будет предназначен для неразрушающего контроля полупроводниковых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Первоначальный опытный образец будет адаптирован для работы с 200-миллиметровыми пластинами — именно такой формат в настоящее время широко используется на предприятиях, занимающихся производством микросхем по устоявшимся технологическим стандартам.
Основная задача установки — высокоточное измерение критически важных параметров чипов. Микроскоп будет способен контролировать ширину проводников, размеры контактных отверстий, расстояние между элементами схемы и шероховатость краев линий. Именно от этих характеристик напрямую зависят качество, стабильность и выход годной продукции при производстве микросхем.
Проект нацелен на замену японских электронных микроскопов Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию прекратились после введения санкций. По данным CNews, на сегодняшний день в России нет отечественных промышленных аналогов такого оборудования.
Согласно техническому заданию, практически все основные узлы нового комплекса — электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумная система, механизм загрузки пластин, центральный контроллер и программное обеспечение — должны быть разработаны в России. Использование зарубежных компонентов допускается только в исключительных случаях и лишь после согласования с заказчиком. Согласно требованиям контракта, среднее время наработки на отказ должно составлять не менее 1000 часов, а расчетный срок службы оборудования — не менее десяти лет.
У ЗНТЦ уже имеется опыт разработки аналогичного оборудования. Ранее центр представил отечественный литограф с разрешением 350 нм, а также разработал установку электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм. В настоящее время два опытных образца этой системы проходят испытания.
DexterИсточники:CNewsПроцессоры2Россия55 минут назад
Источник