Он работает с действительно крупными подложками
Процессоры020 минут назад
Институт производственных технологий LG (LG Production Engineering Research Institute, LG PRI) начал коммерческие поставки своей системы прямой лазерной литографии высокого разрешения (Laser Direct Imaging, LDI). Первоначальными клиентами стали LG Innotek и один из зарубежных производителей печатных плат.
Цена одной установки составляет приблизительно $2 млн. В LG сообщили, что система только что вышла в серийное производство, но компания уже ведет переговоры с новыми клиентами и осуществляет совместные проекты.
Основная характеристика новой разработки — полный отказ от фотошаблонов. Вместо этого рисунок создается непосредственно ультрафиолетовым лазером, который наносит схему сразу на поверхность заготовки. Такой способ позволяет значительно сократить время подготовки производства, упростить внесение изменений в конструкции изделий и снизить производственные расходы, особенно при выпуске малых партий.
По информации LG, система способна создавать элементы размером от 1,5 до 3 микрометров. Для повышения точности она оснащена специальной технологией RTAC (Real-Time Active Compensation), которая в реальном времени отслеживает и корректирует возможные деформации материала во время экспонирования. Это дает возможность работы с крупными подложками размером до 600 × 600 мм.
Новая установка предназначена для производства современных полупроводниковых подложек и слоев перераспределения соединений (RDL). Она поддерживает работу с различными материалами — от традиционных печатных плат до кремниевых пластин и перспективных стеклянных подложек. В LG надеются, что оборудование найдет применение при производстве современных решений для упаковки микросхем, включая технологии FoCoS и CoPoS.
DexterИсточники:CNewsПроцессоры0LG20 минут назад
Источник