Выделено 1,5 млрд рублей на разработку замены французским и американским установкам для производства чипов
28 августа 2026, 20:58ПроцессорыDexter3
Минпромторг подписал контракт на сумму 1,475 млрд рублей с петербургской фирмой «Научное и технологическое оборудование» (SemiTEq) для создания отечественной установки молекулярно-лучевой эпитаксии. Проект назван «Цитадель», и завершение разработки опытного образца запланировано до 31 октября 2030 года.
Новое оборудование предназначено для выращивания монокристаллических полупроводниковых слоев и формирования гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и мышьяка (InAlGaAs). Эти материалы используются в производстве сложных полупроводниковых устройств, включая высокочастотные и оптоэлектронные компоненты.
Установка будет работать с подложками диаметром 76 и 100 мм. Согласно техническому заданию, устройство должно одновременно обрабатывать не менее пяти 76-миллиметровых или трех 100-миллиметровых подложек.
Одним из ключевых требований проекта является максимальная локализация. Вакуумные камеры, насосы, молекулярные источники, вакуумная арматура, центральный контроллер и программное обеспечение должны быть произведены в России. Использование зарубежных критически важных компонентов допускается только после отдельного согласования с Минпромторгом.
На данный момент в России нет прямого отечественного аналога установок такого класса. «Цитадель» должна стать альтернативой промышленным системам французской Riber 49 и американской Veeco GEN200, которые используются для молекулярно-лучевой эпитаксии.
Исполнителем проекта является петербургская компания «НТО», основанная в 2001 году. Фирма специализируется на оборудовании для электронной отрасли и уже производит установки молекулярно-лучевой эпитаксии, а ранее представила производственные системы для работы с подложками диаметром до 150 мм.
Тем не менее, проект пока находится на стадии разработки: контракт включает создание проектной документации и изготовление опытного образца. О серийном производстве новой установки пока не идет речи.
Источники:CNewsПроцессоры3Россия31 минуту назад
Источник